PRODUCT INFO全自動レーザー露光機
全自動レーザー露光機
特徴
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柔軟にカスタマイズ対応
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全自動化設計による省人化
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高精度光ヘッド設計、解析精度向上
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一体化、省スペース
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ダブルステージ構造により稼働率の向上
全自動レーザー露光機
項目内容
仕様
型式
LEAR-F25A2-L2S5A20
最大基板
260mmx510mm
基板厚
0.05mm-2mm
最小線幅最小線間
20um/20um(≤15um膜厚)
量産線幅量産線間
25um/25um(≤15um膜厚)
解像度
14000dpi
解析精度
±2.0um
線幅均一性
±10%
位置精度
±10.0um
速度250mmX420mm
20mj/cm2 9-10面/分（線幅線間隔>40 um）
60mj/cm2 8-9面/分（線幅線間隔>30 um）
